E-Beam Source 제품
전자총 & 전자총 파워 서플라이
* E-Beam Source란 E-gun과 E-gun 파워서플라이 그리고 Crucible (도가니), Crucible liner를 포함한 세트를 뜻합니다.
ISA-7000
(한국 최초 개발)
Electron Gun Power Supply
용도 : 일반 증착, 정밀 증착.
모델: ISA-7000
용량: 10 ~ 20Kw
가속전압 : 3,000 ~ 15,000Vdc
빔 편향각도 : 0° , 90° , 180° , 270°
ISA-7000은 고성능의 고전압을 방출하는 전자총 파워서플라이입니다.
이 제품은 Electron Gun에 안정적으로 강력한 전원을 공급하여 고품질의 제품을 생산할 수 있게 해줍니다.
ISA-7000은 본체, 오퍼레이팅 컨트롤러, 확장 콘솔로 구성되어 있으며, ORIGIN 제품인 Crucible (도가니)과 Electron Gun은 별도로 판매되며
함께 사용됩니다.
ORIGIN의 전자총과의 호환을 권장합니다.
타사의 전자총과 ISA-7000을 호환할 경우, ORIGIN은 제품 성능을 보장하지 않습니다.
AN-9000
(한국 최초 개발)
Electron Gun 180°
용도 : 증착, 프론트 패널 유리 생산, 핸드폰부품 생산, 광학렌즈 생산
모델 : AN-9000
용량 : 10Kw
빔 편향각도 : 180°
AN-9000은 180° 전자총으로 매우 안정적인 빔과 고출력을 제공하여 Powder 또는 소재를 효과적으로 녹일 수 있습니다.
이로 인해 AN-9000 전자총은 시험 장비, 진공증착 장비, 반도체 장비, 광학 장비 등 다양한 분야에 적용 가능합니다.
구성은 단일 전자총으로 이루어져 있으며, ORIGIN 제품인 Crucible (도가니)과 ISA-7000은 별도로 판매되며 함께 사용됩니다.
AN-9010
(한국 최초 개발)
Electron Gun 180°
용도 : 50 레이어 이상 정밀 증착, 광학분야, 필터 생산, 광학렌즈 생산
모델 : AN-9010
용량 : 10Kw
빔 편향각도 : 180°
AN-9010은 AN-9000의 개량된 모델로, 180° 전자총입니다. AN-9010은 AN-9000보다 더 우수한 성능을 가지며,
매우 안정적인 빔과 고출력을 제공하여 Powder 또는 소재를 효과적으로 녹일 수 있습니다.
이로 인해 AN-9000 전자총은 시험 장비, 진공증착 장비, 반도체 장비, 광학 장비 등 다양한 분야에 적용 가능합니다.
구성은 단일 전자총으로 이루어져 있으며, ORIGIN 제품인 Crucible (도가니)과 ISA-7000은 별도로 판매되며 함께 사용됩니다.
AN-9020
(한국 최초 개발)
Electron Gun 270°
용도 : 메탈 증착전용
모델: AN-9020
용량: 16Kw
빔 편향각도: 270°
AN-9020은 메탈 증착 전용으로 설계된 270° Electron Gun입니다.
이 Electron Gun은 증착 과정에서 이물질이나 입자가 필라멘트로 낙하해도 구조상 간섭이 거의 없으며, 증착 대상 물질에 대한
열 간섭도 최소화됩니다.
따라서 매우 안정적인 전자빔 생성과 고출력을 가능하게 하여 Powder 또는 소재를 효과적으로 녹일 수 있습니다.
AN-9020은 고정밀 및 고층 공정에 적합하며, 시험 장비, 진공증착 장비, 반도체 장비, 광학 장비 등 다양한 분야에 적용할 수 있습니다.
구성은 단일 전자총으로 이루어져 있으며, ORIGIN 제품인 Crucible ( 도가니)과 ISA-7000은 별도로 판매되며 함께 사용됩니다.
AN-9030
(한국 최초 개발)
Electron Gun 270°
용도 : 정밀증착
특징 : 가속전압 변경 시 전자총에서 방출된 빔 위치 자동 유지가 가능하며
필라멘트 수명이 길다
모델 : AN-9030
용량 : 10Kw
빔 편향각도 : 270°
AN-9030 은 270° 전자총으로 증착 과정에서 이물질이나 입자가 필라멘트로 낙하해도 구조상 간섭이 거의 없으며, 증착 대상 물질에 대한
열 간섭도 최소화됩니다.
따라서 매우 안정적인 전자빔 생성과 고출력을 가능하게 하여 Powder 또는 소재를 효과적으로 녹일 수 있습니다.
AN-9030은 고정밀 및 고층 공정에 적합하며, 시험 장비, 진공증착 장비, 반도체 장비, 광학 장비 등 다양한 분야에 적용할 수 있습니다.
구성은 단일 전자총으로 이루어져 있으며, ORIGIN 제품인 Crucible (도가니)과 ISA-7000은 별도로 판매되며 함께 사용됩니다.
AN-9101
(한국 최초 개발)
Electron Gun 90° or 180°
용도 : 입자 차단
모델 : AN-9101
용량 : 3Kw
빔 편향각도 : 90° or 180°
AN-9101은 90° or 180° 전자총 입니다.
이 Electron Gun은 Flat한 형태의 빔 출력이 가능합니다. 따라서 입자차단에 효과적으로 작용 할 수 있습니다.
구성은 단일 전자총으로 이루어져 있으며, ORIGIN 제품인 Crucible (도가니)과 ISA-7000은별도로 판매되며 함께 사용됩니다.