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한국 최초 개발
Electron Gun Power Supply
용도 : 일반 증착, 정밀 증착.
모델: ISA-7000
용량: 10 ~ 20Kw
가속전압 : 3,000 ~ 15,000Vdc
빔 편향각도 : 0° , 90° , 180° , 270°
세계 최초 개발
Electron Gun 180°
용도 : 50 레이어 이상 정밀 증착,
광학분야, 필터 생산,
광학렌즈 생산.
모델 : AN-9010
용량 : 10Kw
빔 편향각도 : 180°
한국 최초 개발
on Gun Power Supply & Ion Gun
용도 : 보조증착, 클리닝, 스퍼터링
모델: ISA-8000 , AN-9500
용량: 4Kw
에노드전압: 0~250Vdc
필라멘트 공급전류: 50A
Gun Type: End-hole
용도 : OLED 제조, 광학필터 생산,
광학렌즈 멀티 코팅, 윈도우 멀티 코팅
모델: OC-2500
E-Beam Source 용량: 180° or 270°Gun
(3 ~ 16Kw)
ION-Beam Source 용량: 4KW
가속전압: 3,000 ~15,000Vdc
제품 회전 방식: 공전, 자전
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