이온빔-건(한국최초 개발)

일반 보조증착.

모델: AN9500

용량: 4Kw

종류: 엔드홀

냉각방식: 수(水)냉식

이온빔-건은 End-hole 방식으로 특수 재질과 정밀가공되어 빠른 응답과 정밀 제어가 되며 특히 부품 수명이 오래가도록 설계 되었으며 보조증착 및 클리닝, 스퍼터링 에사용합니다.

 

오리진제품인 ISA-8000과 ISA-8010이 함께 제어를 

하며, 안전장치로 과전류보호, 정전압회로,

단락보호 회로가 내장되어 있으며 내부의 동작상태를 램프로 표시되며 유지보수가 쉽도록 제작되었습니다.

 

전면에 아나로그메터와 각종 제어스위치 그리고

제어를 학인 할 수 있도록 램프가 표시되어 장비의

오 조작을 하지 않도록 하였습니다.

 

사용분야는 전자빔코팅장비, 저항가열식코팅장비,

진공시험장비 등 에 사용 할 수 있습니다.

이온빔-파워 서플라이(한국최초 개발)

일반 보조증착.

모델: ISA8000

용량: 4…10Kw  플라즈마

에노드전압: 0…250Vdc

필라멘트 공급전류: 50A

이온빔 파워 공급장치는 빠른 응답과 정밀 제어가 되며 보조증착 및 크리닝, 스퍼터링에 사용합니다.

 

안전장치로 과전류보호, 정전압회로, 단락보호 회로가 내장되어 있으며 내부의 동작상태를 램프(LED)로

표시되며 유지보수가 쉽도록 제작되었습니다.

 

전면에 아나로그메터와 각종 제어스위치 그리고

제어를 학인 할 수 있도록 램프가 표시되어 장비의

오 조작을 하지 않도록 하였습니다.

 

사용분야는 전자빔코팅장비, 저항가열식코팅장비,

진공시험장비, 기타장비에 사용 할 수 있습니다.

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