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Electron Gun & Power Supply
ISA-7000 (한국최초 개발)
Electron Gun Power Supply (한국최초 개발)
용도 : 일반 증착, 정밀 증착.
모델: ISA7000
용량: 10…20Kw
가속전압 : 3,000…15,000Vdc
빔 편향각도 : 0, 180, 270
Electron Gun Power Supply인 ISA-7000 모델은 고성능의 고전압을 방출하는 제품입니다.
구성은 본체, 오퍼레이팅 컨트롤러, 확장 콘솔 그리고 Electron Gun으로 구성됩니다.
Electron Gun에 강한 Power를 안정적으로 공급하기 때문에 고품질의 제품을 생산할 수 있습니다.
AN-9000 (한국최초 개발)
Electron Gun 180도 (한국최초 개발)
용도 : 일반 증착, 윈도우 생산, 핸드폰부품 생산, 광학렌즈 생산.
모델 : AN9000
용량 : 10Kw
빔 편향각도 : 180
AN-9000 은 180 도 기본형 Electron Gun이며, 매우 안정적인 빔과 고출력으로 Powder 또는 소재를
녹입니다. 따라서 시험 장비, 진공증착 장비, 반도체 장비, 광학 장비에 적용 가능합니다.
Crucible (크럭시블, 도가니)은 기본 1, 4, 8, 12 포켓과 특수형이 있으며 특수형은 주문 제작입니다. {Electron Gun 과 Crucible(크럭시블, 도가니)이 분리된 제품입니다.}
AN-9010 (세계최초 개발)
Electron Gun 180도 (세계최초 개발)
용도 : 50 레이어 이상 정밀 증착, 광학분야, 필터 생산, 광학렌즈 생산.
모델 : AN-9010
용량 : 10Kw
빔 편향각도 : 180
AN-9010 은 AN-9000의 개량품으로, High Layer 및 정밀 증착에 사용됩니다.
AN-9010 은 180 도 Electron Gun이며 매우 안정적인 빔과 고출력으로 Powder 또는 소재를 녹입니다.
따라서 시험 장비, 진공증착 장비, 반도체 장비, 광학 장비에 적용 가능합니다.
Crucible(크럭시블, 도가니)은 기본 1, 4, 8, 12 포켓과 특수형이 있으며 특수형은 주문 제작입니다. {Electron Gun 과 Crucible(크럭시블, 도가니)이 분리된 제품입니다.}
AN-9020 (한국최초 개발)
Electron Gun 270도 (한국최초 개발)
용도 : 메탈 증착전용.
모델: AN-9020
용량: 16Kw
빔 편향각도: 270
AN-9020 은 270 도 Electron Gun이며, 증착 시 이물질이 Filament로 낙하해도 구조상 간섭이 매우 적고, 증착이 될 물질은 열 간섭이 적습니다.
따라서 매우 안정적인 Beam 과 고출력이 가능해 Powder 또는 소재를 녹일 때 적합하고 고정밀,
High layer 공정에도 알맞으며 시험 장비, 진공증착 장비, 반도체 장비, 광학 장비에 적용 가능합니다. Crucible(크럭시블, 도가니)은 1 포켓과 특수형이 있으며 특수형은 주문 제작입니다. {Electron Gun 과 Crucible(크럭시블, 도가니)이 분리된 제품입니다.}
AN-9030 (한국최초 개발)
Electron Gun 270도 (한국최초 개발)
용도 : 정밀증착
특징 : 가속전압 변경 시 빔 위치 자동 유지가능, Filament Long Life
모델:AN-9030
용량: 10Kw
빔 편향각도: 270
AN-9030 은 270도 Electron Gun이며, 증착 시 이물질이 Filament로 낙하해도 구조상 간섭이 매우 적고,
증착이 될 물질은 열 간섭이 적습니다.
따라서 매우 안정적인 Beam 과 고출력이 가능해 Powder 또는 소재를 녹일 때 적합하고 고정밀, High layer 공정에도 알맞으며 시험 장비, 진공증착 장비, 반도체 장비, 광학 장비에 적용 가능합니다.
Crucible(크럭시블, 도가니)은 기본 1, 4, 8, 12 포켓과 특수형이 있으며 특수형은 주문 제작입니다.
{Electron Gun 과 Crucible(크럭시블, 도가니)이 분리된 제품입니다.}
AN-9040 (한국최초 개발)
Electron Gun 270도 (한국최초 개발)
용도 : 정밀증착.
모델 : AN-9040
용량 : 10~16Kw
빔 편향각도 : 270
AN-9040 은 270도 Electron Gun이며 증착 시 이물질이 Filament로 낙하해도 구조상 간섭이 매우 적고, 증착이 될 물질은 열 간섭이 적습니다.
따라서 매우 안정적인 Beam 과 고출력이 가능해 Powder 또는 소재를 녹일 때 적합하고 고정밀, High layer 공정에도 알맞으며 시험 장비, 진공증착 장비, 반도체 장비, 광학 장비에 적용 가능합니다.
Crucible(크럭시블, 도가니)은 기본 1, 4, 8, 12 포켓과 특수형이 있으며 특수형은 주문 제작입니다. {Electron Gun 과 Crucible(크럭시블, 도가니)이 분리된 제품입니다.}